Измерение расхода
В полупроводниковой промышленности используется вода высокой степени очистки, предназначенная для применения в чистых помещениях высокого класса, а также газы высокой чистоты и другие химические вещества для процессов очистки, травления, гальваники и планаризации. Измерение расхода в этих высокочистых технологических процессах необходимо поддерживать на надлежащем уровне для получения ценной продукции и обеспечения максимальной эффективности и эксплуатационной готовности оборудования в режиме круглосуточной работы без перерывов.