パナメトリクス社の半導体ソリューション

高純度製造のための超高精度測定

半導体製造向けパナメトリクス社製高精度測定装置

半導体製造において、歩留まりと製品品質を維持するには、精度と純度が不可欠です。パナメトリクス社は、高純度プロセスにおける厳しい要件に対応するよう設計された、最先端の流量・ガス・水分測定ソリューションを提供しています。

当社の高精度技術により、重要ガスや湿度レベルをリアルタイムで監視することが可能となり、汚染の防止とプロセスの安定性確保に貢献します。クリーンルーム環境での信頼性を重視して設計されたパナメトリクスのソリューションは、複雑な生産工程全体を通じて一貫した性能を発揮します。

Panametricsは、実用的なデータと信頼性の高い測定を提供することで、半導体メーカーが効率を最適化し、繊細な機器を保護し、操業をより的確に管理できるよう支援し、歩留まりの向上と一貫した成果の実現に貢献しています。

流量測定:半導体業界では、高グレードのクリーンルームで使用される高純度の水に加え、洗浄、エッチング、めっき、平坦化プロセスに用いられる高純度ガスやその他の化学薬品が使用されています。 これらの高純度プロセスにおける流量測定は、価値ある成果を生み出し、24 時間 365 日の稼働において、最高の効率と可用性でプロセスを運用するために維持されなければなりません。 (クランプオン式流量計)

酸素および水分の測定:半導体プロセスでは、洗浄、パージ、エッチング、メッキ、平坦化プロセスに高純度ガスやその他の化学薬品が必要です。 これらのガスに含まれる水分や酸素の汚染物質は、たとえ 10 億分の 1 (ppb) レベルであっても、プロセスの歩留まりや製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。これらの汚染物質を信頼性高く、再現性のある方法で測定・制御することが極めて重要です。(プロセスアナライザー)

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半導体ソリューション概要

精度、信頼性、可用性はあらゆるビジネスにおいて重要ですが、半導体製造において、とりわけプロセスの
で測定可能な要素において、その重要性はいくら強調してもしすぎることはありません。

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