Misurazione della portata
L’industria dei semiconduttori utilizza acqua di elevata purezza nelle camere bianche di alto livello, oltre a gas ad alta purezza e altre sostanze chimiche per i processi di pulizia, incisione, placcatura e planarizzazione. In questi processi ad alta purezza, è fondamentale garantire la precisione delle misurazioni di portata per ottenere risultati di qualità e far funzionare il processo al massimo in termini di efficienza e disponibilità, 24 ore su 24, 7 giorni su 7.