Mesure du débit
L'industrie des semi-conducteurs utilise de l'eau d'une très grande pureté destinée aux salles blanches de haut niveau, ainsi que des gaz de haute pureté et d'autres produits chimiques pour les processus de nettoyage, de gravure, de dépôt et de planarisation. Dans ces procédés de haute pureté, les mesures de débit doivent être rigoureusement contrôlées afin d’obtenir des résultats de qualité et de garantir un fonctionnement optimal en termes d’efficacité et de disponibilité, 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7.